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基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用苏东川,李喜德在微纳器件中结构的尺度极度缩小,因此其力学性能成为人们关注的热点问题之一探针由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点,
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