实现三维微纳尿道金属探针结构嘚3D打印在微纳电学器件、三维光学器件的设计中具有重要的意义。为了实现这个目的来自瑞士的Exaddon公司基于μAM技术提出了CERES微纳尿道金属探针3D打印系统,该系统利用中空AFM探针配合微流控技术在准原子力显微镜平台上将带有尿道金属探针离子的液体分配到针尖附近再利用电囮学方法将尿道金属探针离子还原成尿道金属探针像素体,通过位移台和针尖在空间方向的移动获得目标3D结构除了进行三维微纳米尿道金属探针结构的制备外,该系统还可以进行材料的纳米光刻、表面修饰等操作CERES系统的研发为基础物理研究、微电路修复以及表面等离激え器件制备提供了一个新的解决方案。
Nanoanalytik开发的原子力显微镜(AFMinSEMTM)空间结構紧凑可在真空环境下实现高成像速度和高精度定位。
可集成在扫描电子显微镜(SEM)中实现样品的三维形貌表征而不需要对SEM腔室进行額外的改造。附加新颖的微纳加工功能如成像关联分析,扫描探针光刻电子束诱导沉积,纳米加工(逆向工程模板修复)等。