芯明天P15系列XYZ压电纳米定位台是用於超分辨率显微镜应用的多轴定位台通过闭环控制,可以实现亚纳米级的高精度运动在XYZ平面上的行程范围可达300微米。 P15内部采用有限元汾析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构FEA使其设计具有尽
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