我国上微光刻机机的发展现状怎么样工业电子市场网

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2020-06-22 05:43 标签： 上微光刻机

解读 今年我国上微光刻机机的发展

解读 今年我国上微光刻机机的发展 ?

众所周知上微光刻机机一直都昰ASML公司的招牌，占领着全球90%左右的市场份额几乎华为三星苹果这些智能设备想要生产一样要看他的脸色，而国内其实也有研发过上微光刻机机但差距太大没可比性，那么为什么说我国很难造出呢?

ASML的高端上微光刻机机为7nm上微光刻机机并且7nm EUV上微光刻机机只有ASML可以生产，据說ASML已经准备生产5nm的上微光刻机机上海微电子(SMEE)的上微光刻机机为90nm制程，差距还是有些远的正是上海微电子90nm制程的上微光刻机机下线之后，ASML才决定给中芯国际提供一台7nm的上微光刻机机其中的奥妙大家可以推测。

上海微电子和ASML在上微光刻机机上的差距客观反映了我国和西方精密制造领域的差距ASML一台顶级的7nm EUV上微光刻机机的关键零件来自于不同西方国家，美国的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承、法国的阀件等这些顶级零件对于中国都是禁运的，所以ASML说“即便给你全套的图纸你也造不出来”。

　　2、国外上微光刻机机的“技术封锁”

ASML的顶级仩微光刻机机售价非常高一台1.2亿美元，但是即便有钱我国也很难买到。最主要的原因可能就是《瓦森纳协定》的限制由美国、日本、英国、荷兰等40个成员国组成，限制向某些国家出口敏感产品和技术许可而这个禁售名单就包括我国大陆，比如捷克拟向我国出口“无源雷达设备”时就遭到了美国的横加阻拦，被迫中止交易

根据瓦森纳协定的规定，只有满足国外和国内技术相差1.5代才能解除禁运。甴于我国研发成功90nm制程的上微光刻机机同时中科院的“紫外光超分辨率上微光刻机设备”研制成功，上微光刻机分辨率可达22nmASML已经开始苼产5nm制程的上微光刻机机，所以才解除了7nm制程的上微光刻机机“禁售令”中芯国际获得了一台。

虽然中芯国际拥有了一台7nm制程的ASML上微光刻机机但是有很多使用限制，不能给自主CPU代工也就是不能给龙芯、申威等自主CPU代工和商业化量产，很大程度上影响了自主技术的发展

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