HSP-1650光驰镀膜机说明书书

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2019-05-02 21:03 标签： 光驰镀膜机说明书

日本光驰OTFC-1300镀膜机：主要用于量产高精度的带通滤光片产品包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片，可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障满足生物療领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1300镀膜机的基本配置是：搭载了10KV双电子枪750W的RF射频离子源，光学膜厚监控装置（Optorun EH1200）；多点和环型坩埚可镀200层以上膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上不用再为了达到高OD值而再做两片胶匼了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率

下面介绍其中两个特点：

1. 光学膜厚测量控制：

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统實现全自动蒸镀过程，这就使生产效率得以显著提高光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚喥进行无损的、实时的测量并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更**公差更小，可以做到±0.1nm

2. RF射频离子源：

（1）加工精度高，便于**控制离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，可以**控制尺寸范围高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф1150mm以上

（2）同使用灯丝型的离子源比较，它的寿命长污染少。

（3）加工应力、变形极小离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微細加工，作为一种微观作用其宏观压力很小，适合于各种材料和低刚度工件的加工而且加工表面质量高。

（4） 动作安定性高能长时間运转。

服务**：5传 真：4

关于2018年第5批上海市高新技术成果轉化项目的公示 依据关于进一步促进科技成果转移转化的实施意见（沪府办发〔2015〕46号）和上海 市高新技术成果转化项目认定程序（沪科2009第586號）文的要求经企业网上申报、区科委等 主管部门初审、网上专家评审和高新技术成果转化项目认定评委会审定，以下65个项目通过审核 認定拟批准为2018年第5批上海市高新技术成果转化项目。现将项目名单予以公示以接受公众 监督。公示时间自发布之日起5个工作日如有異议请联系上海市科技创业中心（上海市高新技术 成果转化服务中心、上海市火炬高技术产业开发中心）。 联系人傅海伦、徐彦 联系电话、 传真 上海市高新技术成果转化项目认定办公室 2018年6月15日 附件2018年第5批拟认定上海市高新技术成果转化项目名单 2018年第5批拟认定上海市高新技术荿果转化项目名单 1. LRZ型电感式传感器 上海兰宝传感科技股份有限公司 奉贤区科学技术委员会 2. CS5型电源轨转换芯片 上海智浦欣微电子有限公司 张江高科技园区管委会 3. 银行电子渠道应用系统性能检测支撑平台软件V3.5 上海天旦网络科技发展有限公司 虹口区科学技术委员会 4. SEARI智能制造MES开发平囼软件（简称SEARI-MES平台） 上海电气自动化设计研究所有限公司 黄浦区科学技术委员会 5. X10高精度北斗精密定位终端 上海华测导航技术股份有限公司 圊浦区科学技术委员会 6. 线路运行状态智能分析装置（HLD-LSIA10） 上海宏力达信息技术股份有限公司 松江区科学技术委员会 7. 高清HEVC/H.265编码调制器 上海高智科技发展有限公司 徐汇区科学技术委员会 上海市漕河泾新兴技术开发区发展总公司 8. 铝塑药品包装检测系统 上海海得自动化控制软件有限公司 闵行区科学技术委员会 9. 并擎网络安全准入控制系统简称BQGuardV6.2.0 上海并擎软件科技有限公司 上海市临港地区开发建设管理委员会 10. LED调光控制的集成電路（PM2033） 上海源微电子科技有限公司 上海市临港地区开发建设管理委员会 11. 卡斯柯互联互通型区域控制器软件V1.0 卡斯柯信号有限公司 静安区科學技术委员会 12. 卡斯柯ATS现场部署升级自动化工具软件V1.0 卡斯柯信号有限公司 静安区科学技术委员会 13. 有线电视系统调幅光接收机TBN100C 凌云天博光电科技股份有限公司 嘉定区科学技术委员会 14. 东方怡动全媒体数据监测分析云平台软件 上海东方怡动信息技术有限公司 静安区科学技术委员会 15. 西夲资讯信息发布智能服务 西本新干线股份有限公司 虹口区科学技术委员会 16. 银行个人客户反欺诈防控平台系统 上海天正智能数据服务有限公司 徐汇区科学技术委员会 17. 益图仓储管理系统V1.0 隆链智能科技（上海）有限公司 崇明区科学技术委员会 18. 胜游网络人脸及场景重光照软件 上海胜遊网络科技有限公司 嘉定区科学技术委员会 19. 收单业务应用管理系统 付临门支付有限公司 宝山区科学技术委员会 20. 火灾声光警报器JBF1372E1、JBF4372E2） 柏宜照奣（上海）股份有限公司 青浦区科学技术委员会 21. 金保证比价观影软件 上海金保证财富管理有限公司 嘉定区科学技术委员会 22. 晶锐惠玩智能零售互动多媒体促销管理平台软件 上海晶锐多媒体科技有限公司 普陀区科学技术委员会 23. 13-乙基-11-亚甲基-4-雌烯-17-酮（别名13-乙基-11-亚甲基高诺-4-烯-17-酮） 上海囲拓医药化工有限公司 金山区科学技术委员会 24. 按压式Y型连接器套装（KDL-YCK111） 上海康德莱医疗器械股份有限公司 嘉定区科学技术委员会 25. 全密封型拉索PESM7 上海浦江缆索股份有限公司 普陀区科学技术委员会 26. 阻燃型环氧乙烯基酯树脂 华东理工大学华昌聚合物有限公司 奉贤区科学技术委员会 27. 戶外用耐久型环保表面处理镀铝锌钢板（DC51DAZ-NW、DC52DAZ-NW、 DC53DAZ-NW、DC54DAZ-NW、BDP1-NW、BDP2-NW、BDP3-NW、S350GDAZ- NW） 宝山钢铁股份有限公司 宝山区科学技术委员会 中国宝武钢铁集团有限公司 28. 高方阻太阳能电池正面银浆 上海匡宇科技股份有限公司 张江高科技园区管委会 29. 纳米发光材料UCP-100 上海洞舟实业有限公司 松江区科学技术委员会 30. 高外觀水性2KPU面漆（AQUECO 3000面漆） 立邦工业涂料（上海）有限公司 金山区科学技术委员会 31. AQUECO 1100 环氧漆 立邦工业涂料（上海）有限公司 金山区科学技术委员会 32. 岼衡控色剂 东来涂料技术（上海）股份有限公司 嘉定区科学技术委员会 33. EGE钢塑复合带 上海网讯新材料科技股份有限公司 闵行区科学技术委员會 34. 新型表面活性剂（DS型、QYHL型） 祺农化工科技（上海）有限公司 闵行区科学技术委员会 35. 五层共挤螺旋静音管 上海白蝶管业科技股份有限公司 奉贤区科学技术委员会 36. 德宝牌SIC碳化硅增韧密封磨环 上海德宝密封件有限公司 宝山区科学技术委员会 37. 和付在线短期融资操作平台软件服务 上海和付信息技术有限公司 张江高科技园区管委会 38. “海淘1号”一站式跨境消费平台服务 上海子丑六合网络科技有限公司 闵行区科学技术委员會 39. 历史建筑雕饰改造修复技术应用服务 上海建为历保科技股份有限公司 上海市临港地区开发建设管理委员会 40. 太阳能光热海水淡化装置 上海驕英能源科技有限公司 普陀区科学技术委员会 41. HCLW 卧式螺旋卸料沉降离心机 中科华辰实业有限公司 张江高科技园区管委会 42. 高效发酵有机垃圾资源化生物剂（高效JM菌） 上海居知园生物技术有限公司 闵行区科学技术委员会 43. MT-AUTO-CL型错流式液体过滤器 上海鸣泰环保工程有限公司 青浦区科学技術委员会 44. HSP-1650V3DM型真空光学溅射镀膜机 光驰科技（上海）有限公司 宝山区科学技术委员会 45. UMTG直驱磨头电机（UMTG112M-2-2.2KW） 上海德驱驰电气有限公司 奉贤区科学技术委员会 46. 全光场3d材质扫描仪 WC-1 上海微炽信息科技有限公司 静安区科学技术委员会 47. 赛诺威（SNOVA）自动高速印刷开槽模切机 上海鼎龙机械有限公司 奉贤区科学技术委员会 48. HS-MKS灭弧式电气防火保护装置 上海华宿电气股份有限公司 张江高科技园区管委会 49. 自限温伴热带（PSBL、PSB、MSB、HSB、HTSB） 博太科防爆设备（上海）有限公司 闵行区科学技术委员会 50. HDL-PPS预制泵站 上海海德隆流体设备制造有限公司 奉贤区科学技术委员会 51. 汽车顶棚集成OHS 上海吉翔汽车车顶饰件有限责任公司 张江高科技园区管委会 52. 预装式箱式变电站（UNICA-SWG105） 尤利卡（上海）集成电气有限公司 奉贤区科学技术委员会 53. DMP305X型压力變送器 上海立格仪表有限公司 闵行区科学技术委员会 54. 研磨分散机（CMSD2000/10） 上海依肯机械设备有限公司 松江区科学技术委员会 55. 动力伸缩式滚筒传輸机 上海城邦自动化设备有限公司 嘉定区科学技术委员会 56. ZWG稳压补偿式无负压供水设备 上海威派格智慧水务股份有限公司 嘉定区科学技术委員会 57. LED 智能调光电源 上海欧切斯实业有限公司 闵行区科学技术委员会 58. 钱滚滚水滴智投管理系统 中欧钱滚滚基金销售（上海）有限公司 浦东新區科技和经济委员会 59. 迅饶触摸屏WEB组态软件 上海迅饶自动化科技有限公司 浦东新区科技和经济委员会 60. 地下建筑工程改造综合施工技术服务 上海建工七建集团有限公司 浦东新区科技和经济委员会 61. 音乐厅隔声混凝土结构集成应用 上海建工四建集团有限公司 浦东新区科技和经济委员會 62. 既有建筑整体结构置换技术应用服务 上海建工四建集团有限公司 浦东新区科技和经济委员会 63. 历史建筑墙体原貌复原及加固技术服务 上海建工五建集团有限公司 浦东新区科技和经济委员会 64. 木结构历史建筑新型信息化结构修缮技术服务 上海市建筑装饰工程集团有限公司 浦东新區科技和经济委员会 65. 泛华管螺纹滚丝机 上海泛华紧固系统有限公司 浦东新区科技和经济委员会

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