准分子激光系统微加工系统和plasma哪个更好

楼主您好 看到您的贴子了,问個问题:

我们开始不用氧气通空气可以“起紫红色的雾”,也可以把pdms和玻璃贴和但是效果不好(pdms和玻璃 ...


氧气电离后应该是淡黄色,红銫主要是氮气电离的颜色你观察一下

提出了一种基于并行探针技术的掃描等离子体加工新方法,即通过在并行探针针尖上集成微小等离子体发生器,从而实现无掩膜的扫描加工.采用二维流体模型对其中的微小等離子体发生器进行了数值仿真研究.该微小等离子体发生器为微空心阴极放电器件,当工作气体为SF6,工作气压在5 kPa~9 kPa时,空心阴极内的F原子浓度在3×1011 cm-3~1.7×1012 cm-3之间变化,基本满足硅材料扫描刻蚀加工的需求.

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