用限定源方法向单晶硅 扩散硅中扩散硼，若t=0时硅片表面硼总量为5*10^（10）mol

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2014-10-06 06:38 标签： 硅片扩散
本文介绍了固态氮化硼源扩散实验的实验原理、扩散工艺步骤与操作方法以及用电解显..
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扩散法制作PN结与结深测量
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