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半导体方面的中英文资料,各位大侠谁有请发给我,不胜感激,听说看英文资料有好处,但是又因为我得英文也不是很过硬,所以希望有中英文对照的资料.& &&&
小弟的邮箱:
去书店里买本中文的书吧
honcheekuan at
我也想要,谢谢.
半导体词汇  
1.& & & & acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing)
2. acceptor: 受主,如B,掺入Si中需要接受电子
3. ACCESS:一个EDA(Engineering Data Analysis)系统
4. Acid:酸
5. Active device:有源器件,如MOS FET(非线性,可以对信号放大)
6. Align mark(key):对位标记
7. Alloy:合金
8. Aluminum:铝
9. Ammonia:氨水
10. Ammonium fluoride:NH4F
11. Ammonium hydroxide:NH4OH
12. Amorphous silicon:α-Si,非晶硅(不是多晶硅)
13. Analog:模拟的
14. Angstrom:A(1E-10m)埃
15. Anisotropic:各向异性(如POLY ETCH)
16. AQL(Acceptance Quality Level):接受质量标准,在一定采样下,可以95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时间后的失效率)
17. ARC(Antireflective coating):抗反射层(用于METAL等层的光刻)
18. Antimony(Sb)锑
19. Argon(Ar)氩
20. Arsenic(As)砷
21. Arsenic trioxide(As2O3)三氧化二砷
22. Arsine(AsH3)
23. Asher:去胶机
24. Aspect ration:形貌比(ETCH中的深度、宽度比)
25. Autodoping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)
26. Back end:后段(CONTACT以后、PCM测试前)
27. Baseline:标准流程
28. Benchmark:基准
29. Bipolar:双极
30. Boat:扩散用(石英)舟
31. CD: (Critical Dimension)临界(关键)尺寸。在工艺上通常指条宽,例如POLY CD 为多晶条宽。
32. Character window:特征窗口。用文字或数字描述的包含工艺所有特性的一个方形区域。
33. Chemical-mechanical polish(CMP):化学机械抛光法。一种去掉圆片表面某种物质的方法。
34. Chemical vapor deposition(CVD):化学汽相淀积。一种通过化学反应生成一层薄膜的工艺。
35. Chip:碎片或芯片。
36. CIM:computer-integrated manufacturing的缩写。用计算机控制和监控制造工艺的一种综合方式。
37. Circuit design :电路设计。一种将各种元器件连接起来实现一定功能的技术。
38. Cleanroom:一种在温度,湿度和洁净度方面都需要满足某些特殊要求的特定区域。
39. Compensation doping:补偿掺杂。向P型半导体掺入施主杂质或向N型掺入受主杂质。
40. CMOS:complementary metal oxide semiconductor的缩写。一种将PMOS和NMOS在同一个硅衬底上混合制造的工艺。
41. Computer-aided design(CAD):计算机辅助设计。
42. Conductivity type:传导类型,由多数载流子决定。在N型材料中多数载流子是电子,在P型材料中多数载流子是空穴。
43. Contact:孔。在工艺中通常指孔1,即连接铝和硅的孔。
44. Control chart:控制图。一种用统计数据描述的可以代表工艺某种性质的曲线图表。
45. Correlation:相关性。
46. Cp:工艺能力,详见process capability。
47. Cpk:工艺能力指数,详见process capability index。
48. Cycle time:圆片做完某段工艺或设定工艺段所需要的时间。通常用来衡量流通速度的快慢。
49. Damage:损伤。对于单晶体来说,有时晶格缺陷在表面处理后形成无法修复的变形也可以叫做损伤。
50. Defect density:缺陷密度。单位面积内的缺陷数。
51. Depletion implant:耗尽注入。一种在沟道中注入离子形成耗尽晶体管的注入工艺。(耗尽晶体管指在栅压为零的情况下有电流流过的晶体管。)
52. Depletion layer:耗尽层。可动载流子密度远低于施主和受主的固定电荷密度的区域。
53. Depletion width:耗尽宽度。53中提到的耗尽层这个区域的宽度。
54. Deposition:淀积。一种在圆片上淀积一定厚度的且不和下面层次发生化学反应的薄膜的一种方法。
55. Depth of focus(DOF):焦深。
56. design of experiments (DOE):为了达到费用最小化、降低试验错误、以及保证数据结果的统计合理性等目的,所设计的初始工程批试验计划。
57. develop:显影(通过化学处理除去曝光区域的光刻胶,形成所需图形的过程)
58. developer:Ⅰ)显影设备; Ⅱ)显影液
59. diborane (B2H6):乙硼烷,一种无色、易挥发、有毒的可燃气体,常用来作为半导体生产中的硼源
60. dichloromethane (CH2CL2):二氯甲,一种无色,不可燃,不可爆的液体。
61. dichlorosilane (DSC):二氯甲硅烷,一种可燃,有腐蚀性,无色,在潮湿环境下易水解的物质,常用于硅外延或多晶硅的成长,以及用在沉积二氧化硅、氮化硅时的化学气氛中。
62. die:硅片中一个很小的单位,包括了设计完整的单个芯片以及芯片邻近水平和垂直方向上的部分划片槽区域。
63. dielectric:Ⅰ)介质,一种绝缘材料; Ⅱ)用于陶瓷或塑料封装的表面材料,可以提供电绝缘功能。
64. diffused layer:扩散层,即杂质离子通过固态扩散进入单晶硅中,在临近硅表面的区域形成与衬底材料反型的杂质离子层。
65. disilane (Si2H6):乙硅烷,一种无色、无腐蚀性、极易燃的气体,燃烧时能产生高火焰,暴露在空气中会自燃。在生产光电单元时,乙硅烷常用于沉积多晶硅薄膜。
66. drive-in:推阱,指运用高温过程使杂质在硅片中分布扩散。
67. dry etch:干刻,指采用反应气体或电离气体除去硅片某一层次中未受保护区域的混合了物理腐蚀及化学腐蚀的工艺过程。
68. effective layer thickness:有效层厚,指在外延片制造中,载流子密度在规定范围内的硅锭前端的深度。
69. EM:electromigration,电子迁移,指由通过铝条的电流导致电子沿铝条连线进行的自扩散过程。
70. epitaxial layer:外延层。半导体技术中,在决定晶向的基质衬底上生长一层单晶半导 体材料,这一单晶半导体层即为外延层。
71. equipment downtime:设备状态异常以及不能完成预定功能的时间。
72. etch:腐蚀,运用物理或化学方法有选择的去除不需的区域。
73. exposure:曝光,使感光材料感光或受其他辐射材料照射的过程。
74. fab:常指半导体生产的制造工厂。
75. feature size:特征尺寸,指单个图形的最小物理尺寸。
76. field-effect transistor(FET):场效应管。包含源、漏、栅、衬四端,由源经栅到漏的多子流驱动而工作,多子流由栅下的横向电场控制。
77. film:薄膜,圆片上的一层或多层迭加的物质。
78. flat:平边
79. flatband capacitanse:平带电容
80. flatband voltage:平带电压
81. flow coefficicent:流动系数
82. flow velocity:流速计
83. flow volume:流量计
84. flux:单位时间内流过给定面积的颗粒数
85. forbidden energy gap:禁带
86. four-point probe:四点探针台
87. functional area:功能区
88. gate oxide:栅氧
89. glass transition temperature:玻璃态转换温度
90. gowning:净化服
91. gray area:灰区
92. grazing incidence interferometer:切线入射干涉仪
93. hard bake:后烘
94. heteroepitaxy:单晶长在不同材料的衬底上的外延方法
95. high-current implanter:束电流大于3ma的注入方式,用于批量生产
96. hign-efficiency particulate air(HEPA) filter:高效率空气颗粒过滤器,去掉99.97%的大于0.3um的颗粒
97. host:主机
98. hot carriers:热载流子
99. hydrophilic:亲水性
100. hydrophobic:疏水性
101. impurity:杂质
102. inductive coupled plasma(ICP):感应等离子体
103. inert gas:惰性气体
104. initial oxide:一氧
105. insulator:绝缘
106. isolated line:隔离线
107. implant : 注入
108. impurity n : 掺杂
109. junction : 结
110. junction spiking n :铝穿刺
111. kerf :划片槽
112. landing pad n AD
113. lithography n 制版
114. maintainability, equipment : 设备产能
115. maintenance n :保养
116. majority carrier n :多数载流子
117. masks, device series of n : 一成套光刻版
118. material n :原料
119. matrix n 1 :矩阵
120. mean n : 平均值
121. measured leak rate n :测得漏率
122. median n :中间值
123. memory n : 记忆体
124. metal n :金属
125. nanometer (nm) n :纳米
126. nanosecond (ns) n :纳秒
127. nitride etch n :氮化物刻蚀
128. nitrogen (N2 ) n: 氮气,一种双原子气体
129. n-type adj :n型
130. ohms per square n:欧姆每平方: 方块电阻
131. orientation n: 晶向,一组晶列所指的方向
132. overlap n : 交迭区
133. oxidation n :氧化,高温下氧气或水蒸气与硅进行的化学反应
134. phosphorus (P) n :磷 ,一种有毒的非金属元素
135. photomask n :光刻版,用于光刻的版
136. photomask, negative n:反刻
137. images:去掉图形区域的版
138. photomask, positive n:正刻
139. pilot n :先行批,用以验证该工艺是否符合规格的片子
140. plasma n :等离子体,用于去胶、刻蚀或淀积的电离气体
141. plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) n: 等离子体化学气相淀积,低温条件下的等离子淀积工艺
142. plasma-enhanced TEOS oxide deposition n:TEOS淀积,淀积TEOS的一种工艺
143. pn junction n:pn结
144. pocked bead n:麻点,在20X下观察到的吸附在低压表面的水珠
145. polarization n:偏振,描述电磁波下电场矢量方向的术语
146. polycide n:多晶硅 /金属硅化物, 解决高阻的复合栅结构
147. polycrystalline silicon (poly) n:多晶硅,高浓度掺杂(&5E19)的硅,能导电。
148. polymorphism n:多态现象,多晶形成一种化合物以至少两种不同的形态结晶的现象
149. prober n :探针。在集成电路的电流测试中使用的一种设备,用以连接圆片和检测设备。
150. process control n :过程控制。半导体制造过程中,对设备或产品规范的控制能力。
151. proximity X-ray n :近X射线:一种光刻技术,用X射线照射置于光刻胶上方的掩 膜版,从而使对应的光刻胶暴光。
152. pure water n : 纯水。半导体生产中所用之水。
153. quantum device n :量子设备。一种电子设备结构,其特性源于电子的波动性。
154. quartz carrier n :石英舟。
155. random access memory (RAM) n :随机存储器。
156. random logic device n :随机逻辑器件。
157. rapid thermal processing (RTP) n :快速热处理(RTP)。
158. reactive ion etch (RIE) n : 反应离子刻蚀(RIE)。
159. reactor n :反应腔。反应进行的密封隔离腔。
160. recipe n :菜单。生产过程中对圆片所做的每一步处理规范。
161. resist n :光刻胶。
162. scanning electron microscope (SEM) n :电子显微镜(SEM)。
163. scheduled downtime n : (设备)预定停工时间。
164. Schottky barrier diodes n :肖特基二极管。
165. scribe line n :划片槽。
166. sacrificial etchback n :牺牲腐蚀。
167. semiconductor n :半导体。电导性介于导体和绝缘体之间的元素。
168. sheet resistance (Rs) (or per square) n :薄层电阻。一般用以衡量半导体表面杂质掺杂水平。
169. side load: 边缘载荷,被弯曲后产生的应力。
170. silicon on sapphire(SOS)epitaxial wafer:外延是蓝宝石衬底硅的原片
171. small scale integration(SSI):小规模综合,在单一模块上由2到10个图案的布局。
172. source code:原代码,机器代码编译者使用的,输入到程序设计语言里或编码器的代码。
173. spectral line: 光谱线,光谱镊制机或分光计在焦平面上捕捉到的狭长状的图形。
174. spin webbing: 旋转带,在旋转过程中在下表面形成的细丝状的剩余物。
175. sputter etch: 溅射刻蚀,从离子轰击产生的表面除去薄膜。
176. stacking fault:堆垛层错,原子普通堆积规律的背离产生的2次空间错误。
177. steam bath:蒸汽浴,一个大气压下,流动蒸汽或其他温度热源的暴光。
178. step response time:瞬态特性时间,大多数流量控制器实验中,普通变化时段到气流刚 到达特定地带的那个时刻之间的时间。
179. stepper: 步进光刻机(按BLOCK来曝光)
180. stress test: 应力测试,包括特定的电压、温度、湿度条件。
181. surface profile:表面轮廓,指与原片表面垂直的平面的轮廓(没有特指的情况下)。
182. symptom:征兆,人员感觉到在一定条件下产生变化的弊病的主观认识。
183. tack weld:间断焊,通常在角落上寻找预先有的地点进行的点焊(用于连接盖子)。
184. Taylor tray:泰勒盘,褐拈土组成的高膨胀物质。
185. temperature cycling:温度周期变化,测量出的重复出现相类似的高低温循环。
186. testability:易测性,对于一个已给电路来说,哪些测试是适用它的。
187. thermal deposition:热沉积,在超过950度的高温下,硅片引入化学掺杂物的过程。
188. thin film:超薄薄膜,堆积在原片表面的用于传导或绝缘的一层特殊薄膜。
189. titanium(Ti): 钛。
190. toluene(C6H5CH3): 甲苯。有毒、无色易燃的液体,它不溶于水但溶于酒精和大气。
191. 1,1,1-trichloroethane(TCA)(CL3CCH3): 有毒、不易燃、有刺激性气味的液态溶剂。这种混合物不溶于水但溶于酒精和大气。
192. tungsten(W): 钨。
193. tungsten hexafluoride(WF6): 氟化钨。无色无味的气体或者是淡黄色液体。在CVD中WF6用于淀积硅化物,也可用于钨传导的薄膜。
194. tinning: 金属性表面覆盖焊点的薄层。
195. total fixed charge density(Nth): 下列是硅表面不可动电荷密度的总和:氧化层固定电荷密度(Nf)、氧化层俘获的电荷的密度(Not)、界面负获得电荷密度(Nit)。
196. watt(W): 瓦。能量单位。
197. wafer flat: 从晶片的一面直接切下去,用于表明自由载流子的导电类型和晶体表面的晶向,也可用于在处理和雕合过程中的排列晶片。
198. wafer process chamber(WPC): 对晶片进行工艺的腔体。
199. well: 阱。
200. wet chemical etch: 湿法化学腐蚀。
201. trench: 深腐蚀区域,用于从另一区域隔离出一个区域或者在硅晶片上形成存储电容器。
202. via: 通孔。使隔着电介质的上下两层金属实现电连接。
203. window: 在隔离晶片中,允许上下两层实现电连接的绝缘的通道。
204. torr : 托。压力的单位。
205. vapor pressure: 当固体或液体处于平衡态时自己拥有的蒸汽所施加的压力。蒸汽压力是与物质和温度有关的函数。
206. vacuum: 真空。
207. transition metals: 过渡金属
ACA Anisotropic Conductive Adhesive 各向异性导电胶
ACAF Anisotropic Conductive Adhesive Film各项异性导电胶膜
Al Aluminium 铝
ALIVH All Inner Via Hole 完全内部通孔
AOI Automatic Optial Inspection 自动光学检查
ASIC Application Specific Integrated Circuit 专用集成电路
ATE Automatic Test Equipment 自动监测设备
AU Gold 金
BCB Benzocyclohutene,Benzo Cyclo Butene 苯丙环丁烯
BEO Beryllium Oxide 氧化铍
BIST Built-In Self-Test(Function) 内建自测试(功能)
BIT Bipolar Transistor 双极晶体管
BTAB Bumped Tape Automated Bonding 凸点载带自动焊
BGA Ball Grid Array 焊球阵列
BQFP Quad Flat Package With Bumper 带缓冲垫的四边引脚扁平封装
C4 Controlled Collapsed Chip Connection 可控塌陷芯片连接
CAD Computer Aided Design 计算机辅助设计
CBGA Ceramic Ball Grid Array 陶瓷焊球阵列
CCGA Ceramic Column Grid Array 陶瓷焊柱阵列
CLCC Ceramic Leaded Chip Carrier 带引脚的陶瓷片式载体
CML Current Mode Logic 电流开关逻辑
CMOS Complementary Metal-Oxide-Semiconductor 互补金属氧化物半导体
COB Chip on Board 板上芯片
COC Chip on Chip 叠层芯片
COG Chip on Glass 玻璃板上芯片
CSP Chip Size Package 芯片尺寸封装
CTE Coefficient of Thermal Expansion 热膨胀系数
CVD Chemical Vapor Depositon 化学汽相淀积
DCA Direct Chip Attach 芯片直接安装
DFP Dual Flat Package 双侧引脚扁平封装
DIP Double In-Line Package 双列直插式封装
DMS Direct Metallization System 直接金属化系统
DRAM Dynamic Random Access Memory 动态随机存取存贮器
DSO Dual Small Outline 双侧引脚小外形封装
DTCP Dual Tape Carrier Package 双载带封装
3D Three-Dimensional 三维
2D Two-Dimensional 二维
EB Electron Beam 电子束
ECL Emitter-Coupled Logic 射极耦合逻辑
FC Flip Chip 倒装片法
FCB Flip Chip Bonding 倒装焊
FCOB Flip Chip on Board 板上倒装片
FEM Finite Element Method 有限元法
FP Flat Package 扁平封装
FPBGA Fine Pitch Ball Grid Array 窄节距BGA
FPD Fine Pitch Device 窄节距器件
FPPQFP Fine Pitch Plastic QFP 窄节距塑料QFP
GQFP Guard-Ring Quad Flat Package 带保护环的QFP
HDI High Density Interconnect 高密度互连
HDMI High Density Multilayer Interconnect 高密度多层互连
HIC Hybird Integrated Circuit 混合集成电路
HTCC High Temperature Co-Fired Ceramic 高温共烧陶瓷
HTS High Temperature Storage 高温贮存
IC Integrated Circuit 集成电路
IGBT Insulated Gate Bipolar Transistor 绝缘栅双极晶体管
ILB Inner-Lead Bond 内引脚焊接
I/O Input/Output 输入/输出
IVH Inner Via Hole 内部通孔
JLCC J-Leaded Chip Carrier J形引脚片式载体
KGD Known Good Die 优质芯片
LCC Leadless Chip Carrier 无引脚片式载体
LCCC Leadless Ceramic Chip Carrier 无引脚陶瓷片式载体
LCCP Lead Chip Carrier Package 有引脚片式载体封装
LCD Liquid Crystal Display 液晶显示器
LCVD Laser Chemical Vapor Deposition 激光化学汽相淀积
LDI Laser Direct Imaging 激光直接成像
LGA Land Grid Array 焊区阵列
LSI Large Scale Integrated Circuit 大规模集成电路
LOC Lead Over Chip 芯片上引线健合
LQFP Low Profile QFP 薄形QFP
LTCC Low Temperature Co-Fired Ceramic 低温共烧陶瓷
MBGA Metal BGA 金属基板BGA
MCA Multiple Channel Access 多通道存取
MCM Multichip Module 多芯片组件
MCM-C MCM with Ceramic Substrate 陶瓷基板多芯片组件
MCM-D MCM with Deposited Thin Film Inteconnect Substrate 淀积薄膜互连基板多芯片组件
MCM-L MCM with Laminated Substrate 叠层基板多芯片组件
MCP Multichip Package 多芯片封装
MELF Metal Electrode Face Bonding 金属电极表面健合
MEMS Microelectro Mechanical System 微电子机械系统
MFP Mini Flat Package 微型扁平封装
MLC Multi-Layer Ceramic Package 多层陶瓷封装
MMIC Monolithic Microwave Integrated Circuit 微波单片集成电路
MOSFET Metal-Oxide-Silicon Field-Effect Transistor 金属氧化物半导体场效应晶体管
MPU Microprocessor Unit 微处理器
MQUAD Metal Quad 金属四列引脚
MSI Medium Scale Integration 中规模集成电路
OLB Outer Lead Bonding 外引脚焊接
PBGA Plastic BGA 塑封BGA
PC Personal Computer 个人计算机
PFP Plastic Flat Package 塑料扁平封装
PGA Pin Grid Array 针栅阵列
PI Polymide 聚酰亚胺
PIH Plug-In Hole 通孔插装
PTF Plastic Leaded Chip Carrier 塑料有引脚片式载体
PTF Polymer Thick Film 聚合物厚膜
PWB Printed Wiring Board 印刷电路板
PQFP Plastic QFP 塑料QFP
QFJ Quad Flat J-leaded Package 四边J形引脚扁平封装
QFP Quad Flat Package 四边引脚扁平封装
QIP Quad In-Line Package 四列直插式封装
RAM Random Access Memory 随机存取存贮器
SBB Stud-Bump Bonding 钉头凸点焊接
SBC Solder-Ball Connection 焊球连接
SCIM Single Chip Integrated Module 单芯片集成模块
SCM Single Chip Module 单芯片组件
SLIM Single Level Integrated Module 单级集成模块
SDIP Shrinkage Dual Inline Package 窄节距双列直插式封装
SEM Sweep Electron Microscope 电子扫描显微镜
SIP Single In-Line Package 单列直插式封装
SIP System In a Package 系统级封装
SMC Surface Mount Component 表面安装元件
SMD Surface Mount Device 表面安装器件
SMP Surface Mount Package 表面安装封装
SMT Surface Mount Technology 表面安装技术
SOC System On Chip 系统级芯片
SOIC Small Outline Integrated Circuit 小外形封装集成电路
SOJ Small Outline J-Lead Package 小外形J形引脚封装
SOP Small Outline Package 小外形封装
SOP System On a Package 系统级封装
SOT Small Outline Transistor 小外形晶体管
SSI Small Scale Integration 小规模集成电路
SSIP Small Outline Single-Line Plug Package 小外形单列直插式封装
SSOP Shrink Small Outline Package 窄节距小外形封装
SPLCC Shrinkage Plasitc Leadless Chip Carrier 窄节距塑料无引脚片式载体
STRAM Selftimed Random Access Memory 自定时随机存取存贮器
SVP Surface Vertical Package 立式表面安装型封装
TAB Tape Automated Bonding 载带自动焊
TBGA Tape BGA 载带BGA
TCM Thermal Conduction Module 热导组件
TCP Tape Carrier Package 带式载体封装
THT Through-Hole Technology 通孔安装技术
TO Transistor Outline 晶体管外壳
TPQFP Thin Plastic QFP 薄形塑料QFP
TQFP Tape QFP 载带QFP
TSOP Thin SOP 薄形SOP
TTL Transistor-Transistor Logic 晶体管-晶体管逻辑
UBM Metalization Under Bump 凸点下金属化
UFPD Ultra Small Pitch Device 超窄节距器件
USOP Ultra SOP 超小SOP
USONF Ultra Small Outline Package Non Fin 无散热片的超小外形封装
UV Ultraviolet 紫外光
VHSIC Very High Speed Integrated Circuit 超高速集成电路
VLSI Very Large Scale Integrated Circuit 超大规模集成电路
WB Wire Bonding 引线健合
WLP Wafer Level Package 圆片级封装
WSI Wafer Scale Integration 圆片级规模集成
够不够??
Acceptor - An element, such as boron, indium, and gallium used to create a free hole in a semiconductor. The acceptor atoms are required to have one less valence electron than the semiconductor.
受主 - 一种用来在半导体中形成空穴的元素,比如硼、铟和镓。受主原子必须比半导体元素少一价电子
Alignment Precision - Displacement of patterns that occurs during the photolithography process.
套准精度 - 在光刻工艺中转移图形的精度。
Anisotropic - A process of etching that has very little or no undercutting
各向异性 - 在蚀刻过程中,只做少量或不做侧向凹刻。
Area Contamination - Any foreign particles or material that are found on the surface of a wafer. This is viewed as discolored or smudged, and it is the result of stains, fingerprints, water spots, etc.&&t9Y \&] J:b$a&c
沾污区域 - 任何在晶圆片表面的外来粒子或物质。由沾污、手印和水滴产生的污染。&&^5^&M2~!h8f&n
Azimuth, in Ellipsometry - The angle measured between the plane of incidence and the major axis of the ellipse.
椭圆方位角 - 测量入射面和主晶轴之间的角度。
Backside - The bottom surface of a silicon wafer. (Note: This t instead, use ‘back surface’.)
背面 - 晶圆片的底部表面。(注:不推荐该术语,建议使用“背部表面”) 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA;t Y/l D v:h&@6Q `
Base Silicon Layer - The silicon wafer that is located underneath the insulator layer, which supports the silicon film on top of the wafer.
底部硅层 - 在绝缘层下部的晶圆片,是顶部硅层的基础。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA& && &&&l S5P*c& && &&&~1u E I&W l(j `
Bipolar - Transistors that are able to use both holes and electrons as charge carriers.
双极晶体管 - 能够采用空穴和电子传导电荷的晶体管。
Bonded Wafers - Two silicon wafers that have been bonded together by silicon dioxide, which acts as an insulating layer. (a6j:r(y Z8{
绑定晶圆片 - 两个晶圆片通过二氧化硅层结合到一起,作为绝缘层。&&y `+H
Bonding Interface - The area where the bonding of two wafers occurs.
绑定面 - 两个晶圆片结合的接触区。
Buried Layer - A path of low resistance for a current moving in a device. Many of these dopants are antimony and arsenic. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA3g:A e x k? X
埋层 - 为了电路电流流动而形成的低电阻路径,搀杂剂是锑和砷。
Buried Oxide Layer (BOX) - The layer that insulates between the two wafers.
氧化埋层(BOX) - 在两个晶圆片间的绝缘层。
j G g F o4N8X
Carrier - Valence holes and conduction electrons that are capable of carrying a charge through a solid surface in a silicon wafer. ,N4b O#P6uz2r w
载流子 - 晶圆片中用来传导电流的空穴或电子。
Chemical-Mechanical Polish (CMP) - A process of flattening and polishing wafers that utilizes both chemical removal and mechanical buffing. It is used during the fabrication process.
化学-机械抛光(CMP) - 平整和抛光晶圆片的工艺,采用化学移除和机械抛光两种方式。此工艺在前道工艺中使用。 -k f l W j s!x V
Chuck Mark - A mark found on either surface of a wafer, caused by either a robotic end effector, a chuck, or a wand.
卡盘痕迹 - 在晶圆片任意表面发现的由机械手、卡盘或托盘造成的痕迹。 -h r \ u G
Cleavage Plane - A fracture plane that is preferred. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA n v
J @9t$T O F)m
解理面 - 破裂面
Crack - A mark found on a wafer that is greater than 0.25 mm in length.
裂纹 - 长度大于0.25毫米的晶圆片表面微痕。
Crater - Visible under diffused illumination, a surface imperfection on a wafer that can be distinguished individually.
微坑 - 在扩散照明下可见的,晶圆片表面可区分的缺陷。
{ e M i WX L R ~ d Y
Conductivity (electrical) - A measurement of how easily charge carriers can flow throughout a material. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA U d,i&@9B \ }:|+x @
传导性(电学方面) - 一种关于载流子通过物质难易度的测量指标 。
Conductivity Type - The type of charge carriers in a wafer, such as “N-type” and “P-type”.
导电类型 - 晶圆片中载流子的类型,N型和P型。
Contaminant, Particulate (see light point defect) )S
污染微粒 (参见光点缺陷)&&F f
Contamination Area - An area that contains particles that can negatively affect the characteristics of a silicon wafer.
沾污区域 - 部分晶圆片区域被颗粒沾污,造成不利特性影响。
Contamination Particulate - Particles found on the surface of a silicon wafer.& && && &J |4d'V2k'y,l a
沾污颗粒 - 晶圆片表面上的颗粒。 9z F L8a l!c&Q B(O(P
Crystal Defect - Parts of the crystal that contain vacancies and dislocations that can have an impact on a circuit’s electrical performance.
晶体缺陷 - 部分晶体包含的、会影响电路性能的空隙和层错。
Crystal Indices (see Miller indices) & && &&&R A)_#J K-b S i F& && &&&\
晶体指数 (参见米勒指数)
Depletion Layer - A region on a wafer that contains an electrical field that sweeps out charge carriers.
耗尽层 - 晶圆片上的电场区域,此区域排除载流子。&&L M,y u&Q L
Dimple - A concave depression found on the surface of a wafer that is visible to the eye under the correct lighting conditions.
表面起伏 - 在合适的光线下通过肉眼可以发现的晶圆片表面凹陷。 !J G I e^ ~+c
Donor - A contaminate that has donated extra “free” electrons, thus making a wafer “N-Type”. 8G K R+v'h X$t
施主 - 可提供“自由”电子的搀杂物,使晶圆片呈现为N型。 8d'] d)` k
Dopant - An element that contributes an electron or a hole to the conduction process, thus altering the conductivity. Dopants for silicon wafers are found in Groups III and V of the Periodic Table of the Elements.
搀杂剂 - 可以为传导过程提供电子或空穴的元素,此元素可以改变传导特性。晶圆片搀杂 剂可以在元素周期表的III 和 V族元素中发现。
Doping - The process of the donation of an electron or hole to the conduction process by a dopant.
掺杂 - 把搀杂剂掺入半导体,通常通过扩散或离子注入工艺实现。
Edge Chip and Indent - An edge imperfection that is greater than 0.25 mm.
芯片边缘和缩进 - 晶片中不完整的边缘部分超过0.25毫米。 &s$m ^ U&n
Edge Exclusion Area - The area located between the fixed quality area and the periphery of a wafer. (This varies according to the dimensions of the wafer.)
边缘排除区域 - 位于质量保证区和晶圆片外围之间的区域。(根据晶圆片的尺寸不同而有所不同。)
V _+M e {:e m
Edge Exclusion, Nominal (EE) - The distance between the fixed quality area and the periphery of a wafer.
名义上边缘排除(EE) - 质量保证区和晶圆片外围之间的距离。 -|#M o
M-N | Y;K8^
Edge Profile - The edges of two bonded wafers that have been shaped either chemically or mechanically.
边缘轮廓 - 通过化学或机械方法连接起来的两个晶圆片边缘。
Etch - A process of chemical reactions or physical removal to rid the wafer of excess materials.&&Z&i e c'D M
蚀刻 - 通过化学反应或物理方法去除晶圆片的多余物质。 :m(m%B*g p b
Fixed Quality Area (FQA) - The area that is most central on a wafer surface. (I F {*]8^
质量保证区(FQA) - 晶圆片表面中央的大部分。
Flat - A section of the perimeter of a wafer that has been removed for wafer orientation purposes.
平边 - 晶圆片圆周上的一个小平面,作为晶向定位的依据。
Flat Diameter - The measurement from the center of the flat through the center of the wafer to the opposite edge of the wafer. (Perpendicular to the flat) +w,E [%O*Y `+} ^ p)n v
平口直径 - 由小平面的中心通过晶圆片中心到对面边缘的直线距离。
Four-Point Probe - Test equipment used to test resistivity of wafers.
四探针 - 测量半导体晶片表面电阻的设备。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA2Z
j;[2x s6a3P2|
Furnace and Thermal Processes - Equipment with a temperature gauge used for processing wafers. A constant temperature is required for the process.
炉管和热处理 - 温度测量的工艺设备,具有恒定的处理温度。
Front Side - The top side of a silicon wafer. (This t use front surface instead.)&&B&X!Tv$] p(D:V ^
正面 - 晶圆片的顶部表面(此术语不推荐,建议使用“前部表面”)。 !e:a o&s [.C& && &&&J1P s t!Z
Goniometer - An instrument used in measuring angles. u& && &&&w-m,L#w k N b @ K
角度计 - 用来测量角度的设备。
Gradient, Resistivity ( see resistivity variation)
电阻梯度 (不推荐使用,参见“电阻变化”)
z ]&a A Y N
Groove - A scratch that was not completely polished out.
凹槽 - 没有被完全清除的擦伤。
Hand Scribe Mark - A marking that is hand scratched onto the back surface of a wafer for identification purposes.
手工印记 - 为区分不同的晶圆片而手工在背面做出的标记。
Haze - A mass concentration of surface imperfections, often giving a hazy appearance to the wafer.
雾度 - 晶圆片表面大量的缺陷,常常表现为晶圆片表面呈雾状。
Hole - Similar to a positive charge, this is caused by the absence of a valence electron.&&R J t!P c v v&P }
空穴 - 和正电荷类似,是由缺少价电子引起的。_ U)?.B
Ingot - A cylindrical solid made of polycrystalline or single crystal silicon from which wafers are cut. 5y9m Y8t(x;@4G D9k
晶锭 - 由多晶或单晶形成的圆柱体,晶圆片由此切割而成。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA } C0i X-[-V!e
Laser Light-Scattering Event - A signal pulse that locates surface imperfections on a wafer. )W/_9p)db1l G
激光散射 - 由晶圆片表面缺陷引起的脉冲信号。 .C%V)h.G5x:r
Lay - The main direction of surface texture on a wafer. 9E e B t I ]4^
层 - 晶圆片表面结构的主要方向。
Light Point Defect (LPD) (N see localized light-scatterer) K-z,@1\&w6z g a E
光点缺陷(LPD) (不推荐使用,参见“局部光散射”)&&|-j @ u6T-a Y
Lithography - The process used to transfer patterns onto wafers.
光刻 - 从掩膜到圆片转移的过程。
Localized Light-Scatterer - One feature on the surface of a wafer, such as a pit or a scratch that scatters light. It is also called a light point defect.
局部光散射 - 晶圆片表面特征,例如小坑或擦伤导致光线散射,也称为光点缺陷。&&D(? | D G d E
Lot - Wafers of similar sizes and characteristics placed together in a shipment.
批次 - 具有相似尺寸和特性的晶圆片一并放置在一个载片器内。&&h | b R5b;u
Majority Carrier - A carrier, either a hole or an electron that is dominant in a specific region, such as electrons in an N-Type area.
多数载流子 - 一种载流子,在半导体材料中起支配作用的空穴或电子,例如在N型中是电子。
Mechanical Test Wafer - A silicon wafer used for testing purposes.
机械测试晶圆片 - 用于测试的晶圆片。
Microroughness - Surface roughness with spacing between the impurities with a measurement of less than 100 μm. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA n%U:l R @ x
微粗糙 - 小于100微米的表面粗糙部分。&&U gX'M I }
Miller Indices, of a Crystallographic Plane - A system that utilizes three numbers to identify plan orientation in a crystal.
Miller索指数 - 三个整数,用于确定某个并行面。这些整数是来自相同系统的基本向量。
Minimal Conditions or Dimensions - The allowable conditions for determining whether or not a wafer is considered acceptable.
最小条件或方向 - 确定晶圆片是否合格的允许条件。 'Dz&f ]*{ dB R
Minority Carrier - A carrier, either a hole or an electron that is not dominant in a specific region, such as electrons in a P-Type area.
少数载流子 - 在半导体材料中不起支配作用的移动电荷,在P型中是电子,在N型中是空穴。&&F#S
Mound - A raised defect on the surface of a wafer measuring more than 0.25 mm.
q8F-{;TF j
堆垛 - 晶圆片表面超过0.25毫米的缺陷。
Notch - An indent on the edge of a wafer used for orientation purposes.
凹槽 - 晶圆片边缘上用于晶向定位的小凹槽。
s | w A5| n&[
Orange Peel - A roughened surface that is visible to the unaided eye.&&]8@A o @5O{
桔皮 - 可以用肉眼看到的粗糙表面
Orthogonal Misorientation - S _ {&x @7KR
直角定向误差 -
Particle - A small piece of material found on a wafer that is not connected with it.&&Z [:| y3r j
颗粒 - 晶圆片上的细小物质。
Particle Counting - Wafers that are used to test tools for particle contamination.
H Y z#V#i.v t J:G,D
颗粒计算 - 用来测试晶圆片颗粒污染的测试工具。
Particulate Contamination - Particles found on the surface of a wafer. They appear as bright points when a collineated light is shined on the wafer. (T m V F,|2? B& && &&&l b5r U I
颗粒污染 - 晶圆片表面的颗粒。
Pit - A non-removable imperfection found on the surface of a wafer. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA*V m$g#m2N9m M n
深坑 - 一种晶圆片表面无法消除的缺陷。
Point Defect - A crystal defect that is an impurity, such as a lattice vacancy or an interstitial atom.
点缺陷 - 不纯净的晶缺陷,例如格子空缺或原子空隙。&&u B)J*o l o n
Preferential Etch -&&t Q s%s ?,|-a
优先蚀刻 -
Premium Wafer - A wafer that can be used for particle counting, measuring pattern resolution in the photolithography process, and metal contamination monitoring. This wafer has very strict specifications for a specific usage, but looser specifications than the prime wafer.
U j& && &&&q {;Ao ^
测试晶圆片 - 影印过程中用于颗粒计算、测量溶解度和检测金属污染的晶圆片。对于具体应用该晶圆片有严格的要求,但是要比主晶圆片要求宽松些。
Primary Orientation Flat - The longest flat found on the wafer.
E1n#J i ^&~
主定位边 - 晶圆片上最长的定位边。 \2}8M H,^
Process Test Wafer - A wafer that can be used for processes as well as area cleanliness. *B
加工测试晶圆片 - 用于区域清洁过程中的晶圆片。
Profilometer - A tool that is used for measuring surface topography.
n u \ ?2U7P
表面形貌剂 - 一种用来测量晶圆片表面形貌的工具。
Resistivity (Electrical) - The amount of difficulty that charged carriers have in moving throughout material.
电阻率(电学方面) - 材料反抗或对抗电荷在其中通过的一种物理特性。
Required - The minimum specifications needed by the customer when ordering wafers.
必需 - 订购晶圆片时客户必须达到的最小规格。
Roughness - The texture found on the surface of the wafer that is spaced very closely together. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA p ?0O2l4?3^8u;m5a
粗糙度 - 晶圆片表面间隙很小的纹理。
Saw Marks - Surface irregularities
锯痕 - 表面不规则。
Scan Direction - In the flatness calculation, the direction of the subsites.
扫描方向 - 平整度测量中,局部平面的方向。
Scanner Site Flatness -
局部平整度扫描仪 -
Scratch - A mark that is found on the wafer surface. #E&g N(O T7s3\
擦伤 - 晶圆片表面的痕迹。
Secondary Flat - A flat that is smaller than the primary orientation flat. The position of this flat determines what type the wafer is, and also the orientation of the wafer.
第二定位边 - 比主定位边小的定位边,它的位置决定了晶圆片的类型和晶向。
Site - An area on the front surface of the wafer that has sides parallel and perpendicular to the primary orientation flat. (This area is rectangular in shape)
局部表面 - 晶圆片前面上平行或垂直于主定位边方向的区域。
Site Array - a neighboring set of sites
局部表面系列 - 一系列的相关局部表面。
Site Flatness -
局部平整 -
Slip - A defect pattern of small ridges found on the surface of the wafer.
划伤 - 晶圆片表面上的小皱造成的缺陷。
Smudge - A defect or contamination found on the wafer caused by fingerprints.
污迹 - 晶圆片上指纹造成的缺陷或污染。& && && &B&A$m5L c
Sori -&&f | f q
Striation - Defects or contaminations found in the shape of a helix.
条痕 - 螺纹上的缺陷或污染。
Subsite, of a Site - An area found within the site, also rectangular. The center of the subsite must be located within the original site.
局部子表面 - 局部表面内的区域,也是矩形的。子站中心必须位于原始站点内部。
Surface Texture - Variations found on the real surface of the wafer that deviate from the reference surface.
表面纹理 - 晶圆片实际面与参考面的差异情况。&&V I e P c8`6{%`'K
Test Wafer - A silicon wafer that is used in manufacturing for monitoring and testing purposes.
测试晶圆片 - 用于生产中监测和测试的晶圆片。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA R'F(f,L&F ?
Thickness of Top Silicon Film - The distance found between the face of the top silicon film and the surface of the oxide layer.
顶部硅膜厚度 - 顶部硅层表面和氧化层表面间的距离。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA-G n3? a o8C W i y
Top Silicon Film - The layer of silicon on which semiconductor devices are placed. This is located on top of the insulating layer.
顶部硅膜 - 生产半导体电路的硅层,位于绝缘层顶部。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA&p0} G(p _0g7}%r
Total Indicator Reading (TIR) - The smallest distance between planes on the surface of the wafer.
总计指示剂数(TIR) - 晶圆片表面位面间的最短距离。
Virgin Test Wafer - A wafer that has not been used in manufacturing or other processes.
原始测试晶圆片 - 还没有用于生产或其他流程中的晶圆片。
Void - The lack of any sort of bond (particularly a chemical bond) at the site of bonding. 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA'D S6l1K1T Y v Q
无效 - 在应该绑定的地方没有绑定(特别是化学绑定)。 半导体技术天地[Semiconductor Technology World]芯片设计版图工艺制程封装测试wafer,chip,ic,process,layout,package,FA5I&U
Waves - Curves and contours found on the surface of the wafer that can be seen by the naked eye.
波浪 - 晶圆片表面通过肉眼能发现的弯曲和曲线。 'r5G B#C h
Waviness - Widely spaced imperfections on the surface of a wafer.
波纹 - 晶圆片表面经常出现的缺陷。
kitgain at
husteslls at
好强啊.楼主,谢谢啊
kimicheung at
能不能补发点后封装工艺相关的英语呀???
vvangliang at
好资料,可惜下载不了,不知楼主能否发到我的mail:
zhen de 不错
jackfruit at
好资料~~~~~~~
好资料,send me.
回复 #5 band34 的帖子
这也行!!不过还是高
非常感谢,谢谢分享
meryshu at
真好啊,收录了
呵呵~~好东西 谢了
niucj520 at
好资料~~~~~~~
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